Микромеханические

терморезистивные датчики

Введение

Наш адрес

Состав

Возможности

Продукция

Архив НИР

Апробация

Публикации

Ссылки

Основное научно-техническое направление деятельности лаборатории: разработка и изготовление микроэлектронных датчиков температуры, давления, перепадов давления, тепловых и газовых потоков, датчиков теплопроводности, влажности на основе тонкопленочных металлических резисторов. В основе разработок лежат конструкторские и технологические решения, совместимые с микроэлектронной технологией. Физическая сущность разработок заключается в зависимости номинала разогретого резистора от параметров окружающей среды. Основой первичного преобразователя (чувствительного элемента) является набор тонкопленочных никелевых резисторов, размещенных на взвешенной диэлектрической мембране и пластине монокристаллического кремния. Теплофизические параметры материала мембраны, её геометрия и расположение на подложке обеспечивают тепловую изоляцию резисторов от корпуса и надежный тепловой контакт с окружающей средой. Технология изготовления чувствительных элементов унифицирована. Схемы питания чувствительных элементов позволяют проводить измерения в условиях стационарного и нестационарного теплообменов.

Современному уровню развития интегральных преобразователей соответствует такая степень интеграции отдельных элементов, при которой практически все элементы конструктивно и технологически выполнены на основе одного материала, в виде твердотельного прибора. В качестве подобного конструктивного материала все чаще выступает кремний. В современных сенсорах геометрические размеры элементов уже находятся за пределами возможностей традиционных механических способов обработки материалов, включая самую точную механику.

Таким образом складывается новое направление в приборостроении со своими специфическими задачами и способам решения. Это направление называют микромашиностроением или микросистемной техникой. Микросистемная техника является в настоящее время одним из наиболее динамично развивающихся междисциплинарных научно-технических направлений, определяющих новую революцию в области систем реализуемых на микроуровне. Микросистемная техника(МСТ) – это научно-техническое направление, целью которого является создание в ограниченном объеме твердого тела или на его поверхности микросистем, представляющих собой упорядоченные композиции областей с заданным составом структурой и геометрией, статическая или динамическая совокупность которых обеспечивает реализацию процессов генерации преобразования, передачи энергии и давления в интеграции с процессами восприятия, обработки, трансляции и хранения информации при выполнении запрограммированных операций и действий в требуемых условиях эксплуатации с заданными функциональными, энергетическими, временными и надежностными показателями. Иными словами МСТ – это область микроэлектронного приборостроения, направленная на создание миниатюрных деталей, устройств групповыми методами локального травления и наращивания материалов и групповыми методами соединения отдельных деталей. Технология микромашиностроения открывает новые возможности в разработках терморезистивных датчиков физических величин: температуры, давления, теплового потока, вакуума, перепадов давления, теплопроводности и др.

 

Hosted by uCoz