Микромеханические
терморезистивные датчики
АРХИВ НИР
1983 – 1985 гг.
Разработка солнечных элементов на основе некондиционного кремния.
Цель: разработка технологии изготовления солнечных элементов с рабочей площадью более 20 см 2 из пластин кремния, ушедших в брак при изготовлении микросхем. Разработанный солнечный элемент представляет собой матрицу параллельно соединенных р – n- переходов небольшой площади. Дефектные р – n-переходы, имеющие малое обратное сопротивление, отключались путем подачи обратного напряжения на все р – n- переходы. Отключение дефектных переходов происходило из-за пережигания токоподводящих шин, расположенных на теплоизолированных от подложки мостиках.
Заказчик: ПО «Кристалл», г. Киев
1984 – 1986 гг.
Исследование технологических возможностей создания торцевых туннельных переходов для сверхпроводящих приборов.
Заказчик: Институт Кибернетики АН СССР, г. Киев
1985 – 1987 гг.
Разработка технологии изготовления высокотемпературных масок из кремния для формирования структур на основе высокотемпературной сверхпроводящей керамики.
Заказчик: Институт Металлофизика АН СССР, г. Киев
Выше указанные работы являются тем отправным пунктом деятельности разработчиков, после которого кремний стал рассматриваться не только как материал для создания полупроводниковых приборов, но и как материал, обладающий уникальными свойствами для машиностроения.
1985 – 1988 гг.
Разработка сверхминиатюрных датчиков угловых перемещений, давлений и других физических полей на основе кремниевых структур.
Заказчик: ПО «Арсенал», г. Киев
1987 – 1988 гг.
Разработка микроэлектронных быстродействующих датчиков давления и температуры для детандера.
Заказчик: СКТБ ФТИНТ, г. Харьков
1989 – 1992 гг.
Разработка малогабаритных датчиков вакуума
Заказчик: НПФ «Реагент», г. Москва
1990 – 1992 гг.
Разработка и исследование датчиков давления, температуры, скорости газовых потоков.
Заказчик: Институт Космических Исследований, г. Москва,
Международная программа «Марс –92-94».
1993 г. – по настоящее время
Разработка и экспериментальное изготовление датчиков перепада давления для биомедицинских приборов.
Заказчики: МП «Сенсор-Теком», «Сенсорные системы», г. Киев, НПФ «Метекол», г. Нежин, ООО «Геолинк», г. Москва
1998 г. – по настоящее время
Разработка датчика пульсаций давления.
Заказчик: НПФ « Ралэро », г. Омск
2000 г. – по настоящее время
Разработка датчика теплопроводности.
Заказчик: ООО «НРИ», г. Казань
1999 г.
Разработаны и зарегистрированы в Госстандарте Украины технические условия на первичные преобразователи:
«Микросхемы интегральные УРЗ201НР01, УЗ201НР01» ТУ У 24571552.001-99
С 1999 г. по настоящее время лаборатория является членом Европейского общества Микросистем ( EMSTO , http :// www . nexus - emsto . com ).
